文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN202110485361.X

申 请 日：20210430

发 明 人：冷白羽 白敏菂

申 请 人：大连博羽环保技术开发有限公司

申请人地址：116011 辽宁省大连市高新技术产业园区科海街74号2单元8层2号-01

公 开 日：20231103

公 开 号：CN113277479B

代 理 人：邓骏杰

代理机构：北京维正专利代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开了应用于半导体的高纯度、高浓度、小型化臭氧发生器，所述高压放电组件为一体化高压放电组件；所述高压放电区域采用超窄间隙放电结构，该超窄间隙为0.025~0.1mm之间，所述高压放电组件的长度为兼顾臭氧产量和精加工精度的最大长度；所述氧气进口壳体、臭氧出口壳体、低压接地极板各为独立部件，相互之间采用多个螺栓连接；所述高压放电组件的厚度为0.92~2.2mm之间，用于兼顾电介质的最小耗能以及避免安全隐患；所述高压放电组件的电介质是通过改进、能够阻止放电的电介质材料；本发明将经过改造能够阻止放电的电介质材料、一体化高压放电组件、确保低压地电极和电介质之间为0.025~0.1mm的精加工结构进行有机结合，解决了本领域长期以来臭氧生产浓度不高技术难题。

主 权 项：1.一种应用于半导体的高纯度、高浓度、小型化臭氧发生器，该高浓度小型化臭氧发生器包括至少一组臭氧发生单元、以及沿着臭氧发生单元的进气和出气方向依次布设的氧气进口壳体和臭氧出口壳体、沿着垂直于该进气和出气方向依次布设的前后盖板或上下盖板；该臭氧发生单元由第一低压接地极板、第二低压接地极板和它们之间的高压放电组件及隔片组成，该至少一组臭氧发生单元包括2个放电区，其特征在于：所述高压放电组件为一体化高压放电组件、该一体化高压放电组件用于有效防止氧气未经电场而从高压放电组件中间穿过；所述高压放电组件采用超窄间隙放电结构，该超窄间隙为0.025~0.1mm之间，该超窄间隙用于尽可能地缩短放电间隙、提高放电电场强度，使得超窄放电间隙内的电子能够获得足够大能量；所述高压放电组件的长度为兼顾臭氧产量和精加工精度的最大长度；所述高压放电组件的宽度兼顾了臭氧产生量和避免安全隐患的需求；所述氧气进口壳体、臭氧出口壳体、低压接地极板各为独立部件，相互之间采用多个螺栓连接；所述高压放电组件的厚度为0.92~2.2mm之间，用于兼顾电介质的最小耗能以及避免安全隐患；所述高压放电组件的电介质是通过改进，能够有效阻止放电电流过大，引起火花放电和弧光放电的电介质材料；该一体化高压放电组件由2片内表面覆盖金属放电极的电介质器件强力压制而成的，高压放电组件是将2片内表面覆盖金属放电极的电介质、中间涂有在粘接性能好的绝缘胶，最后强力压制成一体，这样有效防止了氧气从高压放电组件中间穿过而未经电场、并因此降低臭氧浓度；所述高压放电组件的电介质是通过改进，能够有效阻止放电电流过大，引起火花放电和弧光放电的电介质材料，具体为

关 键 词：高压放电 电介质  电介质材料  超窄间隙  精加工  放电 壳体  臭氧发生器 安全隐患  臭氧出口  臭氧生产  独立部件  放电结构  接地极板  螺栓连接  氧气进口  有机结合  最小耗能  一体化  地电极  高纯度  臭氧 半导体 应用  改进  改造  

IPC专利分类号：C01B13/11;C04B35/111;C04B35/622