文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN202110823107.6

申 请 日：20210721

发 明 人：徐琳 蔡德敏 金超

申 请 人：苏州纳维科技有限公司

申请人地址：215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区20幢518室

公 开 日：20230602

公 开 号：CN113521953B

代 理 人：安佳伟;唐灵

代理机构：杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本发明属于半导体材料技术领域。本发明公开了一种尾气中镓源回收装置，回收装置包括腔体及设于腔体内的回收容器；腔体内壁顶面为弧形；回收装置内部的温度为300‑800℃；本发明还公开了一种尾气处理装置及HVPE反应器。HVPE反应后尾气经过本发明中的尾气中镓源回收装置处理后，能够富集尾气中的镓源，并进行回收，同时回收后的镓源中不含有氯化铵等杂质或含有极少杂质。本发明中的尾气处理装置能够很好的分离尾气中的镓源和氯化铵等杂质，实现尾气中高纯镓源的回收。本发明中的HVPE反应器具有镓源回收装置，能够很好的回收HVPE反应中进入尾气中的镓源，提高原料的使用率，降低生产成本。

主 权 项：1.一种尾气中镓源回收装置，其特征在于：其包括腔体、设于腔体内的回收容器以及温控装置；所述腔体内壁的顶面为向下延伸至所述回收容器中的连续面，所述回收容器设于腔体的两侧和/或中部位置，该回收容器具有和所述腔体内壁相对设置的夹持面，所述夹持面的底部与所述腔体内壁夹持，从而形成该回收容器的容置空间；所述温控装置控制所述腔体内壁顶面的温度，使得该腔体内壁顶面的温度满足尾气中的镓源凝结为液滴附着于所述顶面上，且尾气中的其它气体维持气态，当尾气进入所述镓源回收装置后，尾气中的镓源气体在所述腔体内壁顶面上凝结为液滴，并在重力的作用下沿腔体内壁滑入所述回收容器中；所述温控装置中的热源位于腔体内壁的外侧，所述腔体内壁顶面的温度为400-800℃；所述腔体上设有至少一个进气口及至少一个出气口，所述容置空间的底部具有从所述进气口至所述出气口逐渐向下的倾斜设置。

关 键 词：镓源  尾气 回收装置  回收  尾气处理装置 反应器  氯化铵 半导体材料 回收容器  腔体内壁  高纯镓  使用率  顶面  富集  腔体 体内  

IPC专利分类号：B01D53/00;F28B1/00;F28B9/08;C30B25/14;C30B25/16;C30B29/40