文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN00132598.1

申 请 日：20001130

发 明 人：申家镜 邵春雷 魏雪峰

申 请 人：黑龙江省光电技术研究所

申请人地址：157000 黑龙江省牡丹江市光华街106-1号

公 开 日：20040922

公 开 号：CN1167826C

语　　种：中文

摘　　要：均匀热场阵列生长金刚石膜管的方法，其特征是它是在充有含碳气体化合物等气体的容器内，通过电热丝架使电热丝呈弧口相对的圆弧形竖立排列，且使多根膜管生长丝通过丝架竖直排列在弧口相对的两电热丝列之间。该方法一次制做操作流程可生产多根长短不一，内径各异，管壁厚度均匀的金刚石膜管，可大大降低生产成本。

主 权 项：1.均匀热场阵列生长金刚石膜管的方法，其特征是它是在充有含碳气体化合物的容器内，通过电热丝架使电热丝呈弧口相对的圆弧形竖立排列，且使多根膜管生长丝通过丝架竖直排列在弧口相对的两电热丝列之间。

关 键 词：电热丝 膜管  排列  气体化合物  生长金刚石  电热丝架  管壁厚度  金刚石膜 均匀热场  圆弧形 次制  含碳 竖直  丝架  生产成本  竖立  生长  

IPC专利分类号：C23C16/27;C30B25/00