文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN00132596.5

申 请 日：20001130

发 明 人：申家镜 彭鸿雁 杨贵龙 彭寄星

申 请 人：黑龙江省光电技术研究所

申请人地址：157000 黑龙江省牡丹江市光华街106-1号

公 开 日：20020626

公 开 号：CN1355328A

语　　种：中文

摘　　要：双波长激光辅助沉积功能膜的方法,其特征是将高频脉冲准分子激光输出的紫外激光束经分光镜分为二束,一束经透镜聚焦到靶体上,另一束经扩束镜均匀照射到整个衬底表面上,同时将红外激光器输出的红外激光经扩束镜均匀照射到整个衬底表面上。它可制得高品质功能膜。

主 权 项：双波长激光辅助沉积功能膜的方法，其特征是将高频脉冲准分子激光输出的紫外激光束经分光镜分为二束，一束经透镜聚焦到靶体上，另一束经扩束镜均匀照射到整个衬底表面上，同时将红外激光器输出的红外激光经扩束镜均匀照射到整个衬底表面上。

关 键 词：衬底表面  功能膜 扩束镜  照射  红外激光器 紫外激光束  波长激光  分子激光  辅助沉积  高频脉冲 红外激光 透镜聚焦  分光镜 靶体  

IPC专利分类号：C23C14/34