文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN200720034954.X

申 请 日：20070302

发 明 人：赵裕兴 徐海宾

申 请 人：苏州德龙激光有限公司

申请人地址：215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号

公 开 日：20080213

公 开 号：CN201020601Y

代 理 人：陈忠辉

代理机构：32102 南京苏科专利代理有限责任公司

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型提供了一种激光精密加工的匀光系统，包括激光器、分光组件、扩束镜和聚焦镜，分光组件设置在激光器和扩束镜之间，聚焦镜安装在扩束镜的出光口，其特点是：所述激光器为355nm的紫外激光器，所述分光组件由两片平行放置的独立反射镜片组成，两个独立反射镜的夹持装置具有轴向旋转微调机构，使在X－Y平面分离光斑以一定的间距对称分布并且该对称轴与X轴成45度夹角。本实用新型实现了类方形槽的划槽功能，充分利用光斑能量，扩展了激光束的刻槽尺寸范围，提高了激光刻槽设备的灵活性，方便地实现切割不同宽度和深度的槽；经济效益和社会效应显著，其应用前景美好。

主 权 项：1.激光精密加工的匀光系统，包括激光器、分光组件、扩束镜和聚焦镜，分光组件设置在激光器和扩束镜之间，聚焦镜安装在扩束镜的出光口，其特征在于：所述激光器为355nm的紫外激光器，所述分光组件由两片平行放置的独立反射镜片组成，两个独立反射镜的夹持装置具有轴向旋转微调机构，使在X-Y平面分离光斑以一定的间距对称分布并且该对称轴与X轴成45度夹角。

关 键 词：激光器 扩束镜  分光 聚焦镜  激光精密加工  独立反射镜  紫外激光器 光斑 尺寸范围  对称分布  反射镜片  光斑能量  激光刻槽  夹持装置  平面分离  社会效应  微调机构  匀光系统  对称轴 激光束  光口 刻槽  轴向  平行  切割  旋转  经济效益  扩展  

IPC专利分类号：B23K26/06(20060101);B23K26/067(20060101);B23K26/073(20060101)