文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN200920038933.4

申 请 日：20090430

发 明 人：赵裕兴 郭良

申 请 人：苏州德龙激光有限公司

申请人地址：215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号

公 开 日：20100217

公 开 号：CN201405164Y

代 理 人：陈忠辉

代理机构：32102 南京苏科专利代理有限责任公司

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型提供一种双光路绿光微孔加工装置，包括皮秒脉冲激光器、纳秒脉冲激光器、光路校准系统和光学聚焦系统，皮秒脉冲激光器的输出端布置有第一反射镜，纳秒脉冲激光器的输出端布置有第二反射镜，第一反射镜和第二反射镜均与第三反射镜相衔接，第三反射镜的输出端设置光闸，光闸的输出端连接有扩束镜，扩束镜的输出端衔接有第四反射镜，第四反射镜通过光路校准系统与光学聚焦系统相衔接。采用光脉冲长度为纳秒、皮秒的两种激光器，光束的选择由光路选择系统控制，可仅使用一种激光器进行加工，亦可在加工过程中由两种激光器交替使用。双光路系统不仅保持了激光加工微孔的优势，而且针对不同的加工精细度和成本要求，可灵活选择加工方式。

主 权 项：1.新型双光路绿光微孔加工装置，包括皮秒脉冲激光器、纳秒脉冲激光器、光路校准系统和光学聚焦系统，其特征在于：所述皮秒脉冲激光器的输出端布置有第一反射镜，所述纳秒脉冲激光器的输出端布置有第二反射镜，第一反射镜和第二反射镜均与第三反射镜相衔接，第三反射镜的输出端设置光闸，光闸的输出端连接有扩束镜，扩束镜的输出端衔接有第四反射镜，第四反射镜通过光路校准系统与光学聚焦系统相衔接。

关 键 词：反射镜  激光器 输出端  光路  光学聚焦系统  脉冲激光器 皮秒脉冲 校准系统  扩束镜  光闸  双光  激光加工  加工方式  交替使用  灵活选择  脉冲长度  选择系统  精细度 孔加工  光微  皮秒 微孔 连接  

IPC专利分类号：B23K26/38(20060101);B23K26/06(20060101);B23K26/04(20060101)