文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201020554084.0

申 请 日：20101009

发 明 人：赵裕兴 郭良

申 请 人：苏州德龙激光有限公司

申请人地址：215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号

公 开 日：20110525

公 开 号：CN201841362U

代 理 人：王玉国;陈忠辉

代理机构：32102 南京苏科专利代理有限责任公司

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型涉及LED晶圆皮秒激光划片装置，包括紫外激光器、光学系统、影像系统及控制系统，紫外激光器输出的激光入射到光闸，激光经过光闸垂直入射到扩束镜，经过扩束镜后的激光入射到波片，经波片后的激光再入射到激光反射镜上，激光经激光反射镜后入射进聚焦镜，透过聚焦镜的激光聚焦于加工平台上；影像系统的照明光源发出的光经准直镜后呈平行光出射，经照明光反射镜反射进入聚焦镜，照射在加工平台上工件的上表面，经加工平台上工件上表面反射的光线反射回聚焦镜，并透过照明光反射镜进入CCD镜头，由CCD镜头将其聚焦于CCD的成像面上。该设备实现对蓝宝石基底LED晶圆进行划片切割，亦可用于金属、玻璃、硅为基底的LED晶圆切割。

主 权 项：1.LED晶圆皮秒激光划片装置，包括紫外激光器(1)、光学系统、影像系统及控制系统，其特征在于：所述紫外激光器(1)的输出端设置有光闸(2)，光闸(2)的输出端连接有扩束镜(3)，扩束镜(3)的输出端布置有波片(4)，波片(4)衔接激光反射镜(5)，激光反射镜(5)的输出端连接聚焦镜(6)，聚焦镜(6)正对于加工平台(14)；所述影像系统包括照明光反射镜(7)、准直器(8)、CCD镜头(9)、CCD(10)和照明光源(11)，照明光源(11)的输出端布置准直器(8)，准直器(8)衔接照明光反射镜(7)，照明光反射镜(7)的输出端与聚焦镜(6)相衔接；所述照明光源(11)发出的光经准直镜(8)后呈平行光出射，照明光反射镜(7)反射进入聚焦镜(6)，照射在加工平台上工件的上表面，经加工平台上工件上表面反射的光线反射回聚焦镜(6)，并透过照明光反射镜(7)进入CCD镜头(9)，由CCD镜头(9)将其聚焦于CCD(10)的成像面上；所述CCD(10)与控制系统电连接。

关 键 词：聚焦镜  加工平台  晶圆 激光反射镜 紫外激光器 激光 激光入射  影像系统  反射镜 扩束镜  上表面  照明光  波片  光闸  基底  切割  垂直入射  光线反射  光学系统  划片装置  激光聚焦 控制系统  皮秒激光 照明光源  蓝宝石  镜头  平行光  划片  照射  聚焦  玻璃  金属  

IPC专利分类号：B23K26/36(20060101);B23K26/02(20060101)