文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201120144869.5

申 请 日：20110506

发 明 人：倪杨

申 请 人：宁波表面工程研究中心

申请人地址：315177 浙江省宁波市鄞州区古林镇科创南路99号

公 开 日：20120104

公 开 号：CN202099377U

语　　种：中文

摘　　要：一种具有多重隔板的表面薄膜沉积装置，其具有真空容器，内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩埚，用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的激光辐照器，在所述激光辐照器与蒸镀材料的蒸汽之间设置有多重仅允许激光束通过的隔板；由于采用了激光辐照器作为加热源，从而避免了现有的以加热丝作为加热源产生的加热源材料蒸发进入蒸镀材料蒸汽中成为杂质的问题；同时，由于激光束必然会辐照到蒸镀材料的蒸汽，从而使部分蒸汽离子化，也即激光辐照器同时发挥了加热蒸镀材料和离子化蒸镀材料蒸汽的双重作用；此外，由于设置了多重隔板，能够有效防止蒸镀材料的蒸汽沉积到激光辐照器处造成的激光辐照器污染。

主 权 项：1.一种具有多重隔板的表面薄膜沉积装置，其具有真空容器，内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩埚，用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的激光辐照器，在所述激光辐照器与蒸镀材料的蒸汽之间设置有多重仅允许激光束通过的隔板。 

关 键 词：激光辐照 蒸镀  隔板 激光束  加热源  加热蒸镀材料  材料蒸汽  真空容器 蒸汽 薄膜沉积装置  离子化蒸镀  双重作用  蒸汽沉积  蒸汽离子  辐照 加热丝  器处  坩埚  照射  蒸发  污染  

IPC专利分类号：C23C14/28(20060101)