文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201120562355.1

申 请 日：20111229

发 明 人：赵裕兴 狄建科 蔡仲云

申 请 人：苏州德龙激光有限公司

申请人地址：215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号

公 开 日：20120829

公 开 号：CN202398941U

代 理 人：王玉国;陈忠辉

代理机构：32102 南京苏科专利代理有限责任公司

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型涉及脉冲激光刻蚀玻璃基底油墨上铜导电膜的装置，高频率脉冲激光器的输出端依次布置有光闸和扩束镜，扩束镜的输出端布置有1/2波片和格兰棱镜，格兰棱镜的输出端布置有高反射率镜片，高反射率镜片的输出端布置有全反射镜，全反射镜的输出端布置有振镜场镜系统，振镜场镜系统的输出端正对于四轴高精度平台，四轴高精度平台的上方布置有CCD对位观察系统，四轴高精度平台的一侧布置有等离子吹气系统，另一侧安装有集尘系统，高反射率镜片的输出端还布置有功率实时监测探头，监测探头和振镜场镜系统通过通讯系统与控制系统相连。运用高频率的脉冲激光器对玻璃上黑色油墨基底的不可视区域铜导电膜层线路刻蚀。

主 权 项：1.脉冲激光刻蚀玻璃基底油墨上铜导电膜的装置 ，其特征在于：高频率脉冲激光器（1）的输出端布置有光闸（2），光闸（2）的输出端设置有扩束镜（3），扩束镜（3）的输出端布置有1/2波片（4），1/2波片（4）的输出端布置有格兰棱镜（5），格兰棱镜（5）的输出端布置有高反射率镜片（6），高反射率镜片（6）的输出端布置有全反射镜（10），全反射镜（10）的输出端布置有振镜场镜系统（8），振镜场镜系统（8）的输出端正对于四轴高精度平台（14），所述四轴高精度平台（14）的上方布置有CCD对位观察系统（11），所述四轴高精度平台（14）的一侧布置有等离子吹气系统（12），四轴高精度平台（14）的另一侧安装有集尘系统（13），高反射率镜片（6）的输出端还布置有功率实时监测探头（7），监测探头（7）通过通讯系统（16）与控制系统（17）相连，振镜场镜系统（8）通过通讯系统（16）与控制系统（17）相连。

关 键 词：输出端  反射率  高精度  镜片  场镜  四轴  全反射镜  扩束镜  棱镜  探头  基底  脉冲激光器 导电膜层  观察系统  黑色油墨  刻蚀玻璃  控制系统  脉冲激光 频率脉冲  实时监测  通讯系统  导电膜  等离子  激光器 波片 吹气  对位  光闸  集尘  刻蚀 油墨 玻璃  监测  

IPC专利分类号：B23K26/36(20060101);B23K26/14(20060101);B23K26/04(20060101);B23K26/42(20060101)