文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201120543012.0

申 请 日：20111222

发 明 人：田达晰 李刚 徐国科 张世波 林晓华 王昆鹏 历惠宏 李自炳

申 请 人：浙江金瑞泓科技股份有限公司

申请人地址：315800 浙江省宁波市保税东区港东大道20号

公 开 日：20130109

公 开 号：CN202662573U

代 理 人：张法高

代理机构：33200 杭州求是专利事务所有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型公开了一种带超声或兆声振子的异丙醇干燥机。它包括喷嘴、盖子、溢流槽、支撑架、水槽、振子、进气管，方形水槽的上端边沿为溢流槽，在水槽内下部安装有支撑架，超声或兆声振子粘接在水槽的底部下方，水槽的上端安装有盖子，盖子的上方安装有进气管，盖子内安装有喷嘴，支撑架上设有清洗片架。所述的水槽的材料为石英玻璃。所述超声振子的频率为28kHz或40kHz，超声振子的功率约为50～100W，兆声振子的频率大于1兆Hz，兆声振子的功率约为50～100W，每个清洗片架下安装2～6个振子。本实用新型能够显著降低抛光硅片经热氮气和异丙醇混合气体干燥后在表面边沿留下水迹的机会，显著提高抛光硅片异丙醇干燥步骤的成品率。

主 权 项：1.一种带超声或兆声振子的异丙醇干燥机,其特征在于包括喷嘴(3)、盖子(4)、溢流槽(5)、支撑架(6)、水槽(8)、振子(9)、进气管(10)，方形水槽(8)的上端边沿为溢流槽(5)，在水槽(8)内下部安装有支撑架(6)，超声或兆声振子(9)粘接在水槽(8)的底部下方，水槽(8)的上端安装有盖子(4)，盖子(4)的上方安装有进气管(10)，盖子(4)内安装有喷嘴(3)，支撑架(6)上设有清洗片架(2)。

关 键 词：振子 水槽  盖子  超声 兆声  丙醇  支撑架  抛光硅片 喷嘴  进气管  清洗片  上端  溢流  干燥  氮气  混合气体  石英玻璃  成品率  干燥机 水迹 下部  粘接  底部  大于  

IPC专利分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/02(20060101);B08B3/12(20060101)