文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201220230910.5

申 请 日：20120522

发 明 人：胡俊涛 勾宪芳 姜利凯 王鹏 曹华斌 宋爱珍

申 请 人：中节能太阳能科技有限公司

申请人地址：100041 北京市石景山区八大处高科技园区西井路3号1号楼

公 开 日：20121219

公 开 号：CN202610326U

代 理 人：缪友菊

代理机构：南京苏高专利商标事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型公开一种晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置，其特征在于，包括压力调节阀（1）、连接管路（2）及风刀（3），所述风刀（3）为中空结构，且截面为梯形，所述连接管路（2）的两端分别和气源（4）及所述风刀（3）下底面的进气口连接，所述连接管路（2）上设置有所述压力调节阀（1），所述风刀（3）的上底面均匀设置有若干吹扫气孔，所述风刀（3）上底面的宽度与大于或等于待吹扫石墨载板的宽度；本实用新型解决了沉积在硅片上表面的氮化硅粉尘在硅片叠放时玷污到硅片镀膜面，导致镀膜面氮化硅粉尘难以清除的问题。

主 权 项：1.一种晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置，其特征在于，包括压力调节阀（1）、连接管路（2）及风刀（3），所述风刀（3）为中空结构，且截面为梯形，所述连接管路（2）的两端分别和气源（4）及所述风刀（3）下底面的进气口连接，所述压力调节阀（1）设置在所述连接管路（2）上，所述风刀（3）的上底面均匀设置有若干吹扫气孔，所述风刀（3）上底面的宽度大于或等于待吹扫石墨载板的宽度。

关 键 词：风刀  连接管路  硅片  镀膜  压力调节阀  氮化硅 吹扫 粉尘  进气口  太阳能电池 板式  吹扫装置  中空结构  晶体硅 上表面  石墨  沉积  底面  叠放 大于  连接  

IPC专利分类号：C23C16/56(20060101);B08B5/02(20060101);H01L31/18(20060101)