文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201220448034.3

申 请 日：20120905

发 明 人：范多旺 牛晓山 牛进虎 杨书本 范多进 令晓明

申 请 人：常州大成绿色镀膜科技有限公司 兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司 兰州大成科技股份有限公司

申请人地址：213000 江苏省常州市新北区创业路16号粤海工业园2号A座和B座标准厂房

公 开 日：20130320

公 开 号：CN202812405U

代 理 人：汤东凤

代理机构：北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型公开了一种高真空系统密封装置，其特征在于,包括:真空室体、高真空翻板阀、低温盘管、冷凝罩和扩散泵，所述的冷凝罩中装有低温盘管；所述的高真空翻板阀包括：驱动气缸、气缸转臂、阀板固定臂、阀板调整机构、阀板调平轴、阀板，所述的驱动气缸由自动控制动作，驱动气缸驱动气缸转臂和阀板固定臂动作。真空翻板阀在真空状态启闭过程中瞬时完成，通导能力达到90%以上，生产效率高，也可根据生产及设备的本身需要，可界定其不同大小的通导能力。如果操作过程中出现停电或意外，阀板会自行关闭，将真空室体大气一端和油扩散泵及深冷扑集装置进行隔离，起到安全保护深冷系统不被暴露大气和升温影响，且保护真空扩散泵泵油不易氧化的作用。

主 权 项：1. 一种高真空系统密封装置，其特征在于,包括:真空室体（1）、高真空翻板阀（2）、低温盘管（3）、冷凝罩（4）和扩散泵（5），所述的冷凝罩（4）中装有低温盘管（3）；所述的高真空翻板阀（2）包括：驱动气缸（2-1）、气缸转臂（2-2）、阀板固定臂（2-3）、阀板调整机构（2-4）、阀板调平轴（2-5）、阀板（2-6），所述的驱动气缸（2-1）由自动控制动作，驱动气缸（2-1）驱动气缸转臂（2-2）和阀板固定臂（2-3）动作。

关 键 词：阀板  驱动气缸  真空翻板阀  低温盘管  真空室体  固定臂  扩散泵 冷凝  转臂  安全保护  操作过程  调整机构  深冷系统  真空扩散 真空系统 真空状态  泵泵  调平  启闭  气缸  深冷 密封  停电  隔离  升温  

IPC专利分类号：F16K31/12(20060101);F16K1/18(20060101)