文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201420374411.2

申 请 日：20140708

发 明 人：徐红艳 张克栋 崔铮

申 请 人：苏州纳格光电科技有限公司

申请人地址：215123 江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼104室

公 开 日：20141203

公 开 号：CN203981623U

代 理 人：杨林洁

代理机构：苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型揭示了一种功能区具有粗糙度的半导体气体传感器，包括基底；设置在基底上的信号感测电极，信号感测电极包括两个导电电极以及电性连接两个导电电极的功能层；设置在基底上的加热电极，加热电极与信号感测电极彼此绝缘；其中，基底位于两个导电电极之间区域的表面粗糙度大于基底上的剩余区域。本实用新型提供的半导体气体传感器，通过在导电电极之间区域的基底上增加粗糙度，在后续功能层的制作中，气敏材料可以与基底之间形成更多的空隙，便于待检测气体的通过，从而提升气体传感器的灵敏度和响应速率。

主 权 项：1.一种功能区具有粗糙度的半导体气体传感器，其特征在于，包括： 基底； 设置在所述基底上的信号感测电极，所述信号感测电极包括两个导电电极以及电性连接所述两个导电电极的功能层； 设置在所述基底上的加热电极，所述加热电极与所述信号感测电极彼此绝缘；其中， 所述基底位于所述两个导电电极之间区域的表面粗糙度大于所述基底上的剩余区域。

关 键 词：基底  导电电极  感测电极  半导体气体传感器 加热电极  粗糙度 功能层  表面粗糙度  气体传感器 电性连接  检测气体  气敏材料 剩余区域  响应速率 功能区 灵敏度  绝缘  大于  

IPC专利分类号：G01N27/00(20060101)