文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201620644981.8

申 请 日：20160624

发 明 人：王焕之 王毅

申 请 人：扬州扬杰电子科技股份有限公司

申请人地址：225008 江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期

公 开 日：20161130

公 开 号：CN205750279U

代 理 人：董建林

代理机构：32224 南京纵横知识产权代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：晶片显影装置。涉及一种显影装置，尤其涉及一种用于晶片生产的显影装置。提供了一种结构简单，显影效果好，安全性高的晶片显影装置。若干所述隔舱的底部均设有相互连通的出气装置，所述出气装置上设有用于卡合晶片的凹槽和若干出气孔，所述出气装置内部设有供气体流通的气道，所述气道上设有与出气孔相对应的通孔；所述显影槽的外壁上设有与气道相通的进气口，所述进气口与气泵的输出端连接，所述气泵的输入端通过管道二连接储气罐，所述管道二上设有阀门二。所述密封盖上设有管道一，所述管道一上有阀门一，所述管道一通过三通与所述管道二、气泵的输出端相连通。本实用新型保证晶片相对静止，提高了显影效果。

主 权 项：1.晶片显影装置，包括显影槽和气泵，其特征在于，所述显影槽内设有若干隔板，所述隔板将显影槽隔断成若干隔舱，所述隔舱用于放置显影液；若干所述隔舱的底部均设有相互连通的出气装置，所述出气装置上设有用于卡合晶片的凹槽和若干出气孔，所述出气装置内部设有供气体流通的气道，所述气道上设有与出气孔相对应的通孔；所述显影槽的外壁上设有与气道相通的进气口，所述进气口与气泵的输出端连接，所述气泵的输入端通过管道二连接储气罐，所述管道二上设有阀门二。

关 键 词：显影装置  晶片 出气装置  气泵 进气口  显影效果 出气孔  阀门  气道 连通  储气罐 本实用新型  输出端连接  晶片生产  相对静止  供气体  密封盖  输入端  显影槽  隔舱  卡合  通孔  外壁  三通  相通  输出  流通  保证  

IPC专利分类号：G03F7/30(20060101)