文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201720287440.9

申 请 日：20170322

发 明 人：林国栋 张松岭 黄明明

申 请 人：深圳市海目星激光科技有限公司

申请人地址：518110 广东省深圳市龙华新区观澜君龙社区环观南路26号

公 开 日：20171212

公 开 号：CN206741196U

代 理 人：唐致明

代理机构：44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型涉及光学设备领域，公开了一种多光谱混合波合束光源与曝光机，其中光源包括第一光源、第二光源与光源合束镜，光源合束镜设于第一光源与第二光源所射出的光束的相交处，其可对第一光源射出的第一光束进行折射，以及对第二光源射出的第二光束进行反射，第二光束经反射后沿第一光束前进的方向射出，以与第一光束形成混合光束。本实用新型通过光源合束镜的折射及反射功能可以获得包含至少两种波长的混合光束，该混合光束在与待曝光玻璃上的油墨反应时能满足曝光工艺中的能量需求，同时混合光束中的各组成光束相互平行，从而可以保证曝光的尺寸精度，达到最佳的固化效果。

主 权 项：1.一种多光谱混合波合束光源，其特征在于，包括第一光源、第二光源与光源合束镜，所述光源合束镜设于所述第一光源与第二光源所射出的光束的相交处，其可对所述第一光源射出的第一光束进行折射，以及对所述第二光源射出的第二光束进行反射，所述第二光束经反射后沿所述第一光束前进的方向射出，以与所述第一光束形成混合光束。

关 键 词：光源 混合光束  射出 合束镜  本实用新型  反射  折射  多光谱混合  反射功能  光束形成  光学设备 能量需求  曝光玻璃  曝光工艺  反应时 曝光机 相交处  波长  固化  合束  后沿  油墨  平行  曝光  保证  

IPC专利分类号：G03F7/20(20060101);G02B27/10(20060101)