文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201620785817.9

申 请 日：20160725

发 明 人：俞亚东 党继东

申 请 人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司

申请人地址：215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号

公 开 日：20170315

公 开 号：CN206015086U

代 理 人：陆金星

代理机构：32251 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟，包括若干石墨舟片，各石墨舟片在其厚度方向上间隔设置；所述石墨舟片的表面为平坦结构。本实用新型改变目前的镂空结构，从而避免外观不良的产生，以实现双面管式PECVD镀膜的PERC电池的量产，提高正面减反射，背面增反射效果和钝化效果，提高PERC的转换效率；本实用新型的石墨舟片表面为平坦结构，等离子分布更均匀，提高了正面氮化硅膜均匀性。

主 权 项：1.一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟，包括若干石墨舟片，各石墨舟片在其厚度方向上间隔设置，其特征在于：所述石墨舟片的表面为平坦结构。

关 键 词：石墨舟片  本实用新型  平坦结构  双面管  电池 氮化硅膜 钝化效果  反射效果  间隔设置  转换效率  镂空结构  等离子  减反射  均匀性  石墨舟  量产 背面  

IPC专利分类号：C23C16/458(20060101);H01L21/673(20060101);H01L31/18(20060101)