专利详细信息
文献类型:专利
专利类型:实用新型
是否失效:否
是否授权:否
申 请 号:CN201921174108.7
申 请 日:20190724
申 请 人:晶科能源有限公司 浙江晶科能源有限公司
申请人地址:334100 江西省上饶市经济开发区晶科大道1号
公 开 日:20200114
公 开 号:CN209945280U
代 理 人:刘新雷
代理机构:11227 北京集佳知识产权代理有限公司
语 种:中文
摘 要:本实用新型公开了一种同心度检测工具,用以检测单晶炉内热场装置的同心度,包括用以设于坩埚轴顶端并沿垂向延伸的支撑轴;设于所述支撑轴的顶端、用以指向热场装置内壁面的检测杆;其中,所述支撑轴与所述检测杆的第一端固定连接;所述支撑轴的延伸方向与所述检测杆的延伸方向垂直。上述同心度检测工具使用方便,能够准确地判断热场装置的同心度,解决了热场装置安装效率低的问题。
主 权 项:1.一种同心度检测工具(1),用以检测单晶炉内热场装置的同心度,其特征在于,包括:用以设于坩埚轴(02)顶端并沿垂向延伸的支撑轴(2);设于所述支撑轴(2)的顶端、用以指向热场装置内壁面的检测杆(3);其中,所述支撑轴(2)与所述检测杆(3)的第一端固定连接;所述支撑轴(2)的延伸方向与所述检测杆(3)的延伸方向垂直。
关 键 词:支撑轴 热场装置 检测杆 同心度检测工具 同心度 延伸 本实用新型 安装效率 方向垂直 单晶炉 第一端 坩埚轴 垂向 内壁 内热 指向 检测
IPC专利分类号:G01B11/27(20060101)
参考文献:
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二级参考文献:
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耦合文献:
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引证文献:
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二级引证文献:
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同被引文献:
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