文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN202022853773.8

申 请 日：20201202

发 明 人：侯瑞 张鸿 周博文 张鹏蛟 李文亮 李俊周 孙安

申 请 人：铍威镝新材料(南京)有限公司 江苏安德信超导加速器科技有限公司

申请人地址：210000 江苏省南京市经济技术开发区红枫科技园B4栋

公 开 日：20211008

公 开 号：CN214361646U

代 理 人：顾翰林

代理机构：32231 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型公开了一种用于PVD离子源靶材的水冷结构，属于PVD技术领域，包括依次设置的铜靶座、涡旋盘、靶座绝缘垫和里盖，靶座绝缘垫为环形，里盖设有插孔，一根通水管的其中一端穿过里盖的插孔并与涡旋盘固定连接；铜靶座与涡旋盘之间设有第一水流通道，第一水流通道由涡旋通道和与涡旋通道连通的反流通道构成，涡旋盘与里盖之间设有第二水流通道，通水管内设进水孔和出水孔，涡旋盘设有第一连通孔和第二连通孔，进水孔通过第一连通孔与涡旋通道连通，反流通道通过第二连通孔与第二水流通道连通，通水管设有连通第二水流通道与出水孔的第三连通孔。本实用新型是一种冷却效果好、易加工、易安装且易拆卸的PVD离子源靶材的水冷结构。

主 权 项：1.一种用于PVD离子源靶材的水冷结构，其特征在于：包括依次设置的铜靶座(1)、涡旋盘(2)、靶座绝缘垫(3)和里盖(4)，靶座绝缘垫(3)为环形，里盖(4)设有插孔(19)，一根通水管(8)的其中一端穿过里盖(4)的插孔(19)并与涡旋盘(2)固定连接，通水管(8)外套设有靶座绝缘套(12)；铜靶座(1)与涡旋盘(2)之间设有第一水流通道，第一水流通道由涡旋通道(17)和与涡旋通道(17)连通的反流通道(15)构成，涡旋盘(2)与里盖(4)之间设有第二水流通道(13)，通水管(8)内设进水孔(10)和出水孔(9)，进水孔(10)和出水孔(9)均沿通水管(8)纵向延伸，涡旋盘(2)设有第一连通孔(16)和第二连通孔(14)，进水孔(10)通过第一连通孔(16)与涡旋通道(17)连通，反流通道(15)通过第二连通孔(14)与第二水流通道(13)连通，通水管(8)设有连通第二水流通道(13)与出水孔(9)的第三连通孔(18)。

关 键 词：水流通道  连通孔  涡旋盘 里盖  连通  涡旋通道  通水管  本实用新型  水冷结构  出水孔  进水孔  绝缘垫 离子源 流通道  靶材 靶座  插孔  铜靶  冷却效果  依次设置  易安装  易拆卸  易加工 穿过  

IPC专利分类号：C23C14/32(20060101);C23C14/54(20060101)