文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN202121288234.2

申 请 日：20210609

发 明 人：徐波 何野 徐方良

申 请 人：江苏英特神斯科技有限公司

申请人地址：210061 江苏省南京市江北新区高新技术产业开发区丽新路19号

公 开 日：20211207

公 开 号：CN215069226U

代 理 人：王彩君

代理机构：32320 南京禾易知识产权代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型提供一种压电微机械超声换能器封装结构，包括下电极、压电层、上电极、机械层、衬底层以及过渡层，下电极、压电层以及上电极自下而上由SOI材料依次沉积且设于机械层外缘面；衬底层与下电极以机械层相对称，且固定设于机械层另一外缘面；衬底层通过刻蚀工艺相对于机械层外缘面形成一空腔结构；向空腔结构浇筑胶体材料形成过渡层；过渡层远离与机械层连接处的外缘面粘接有吸声层。本实用新型通过在常规PMUT压电微机械超声换能器正面添加匹配层，在其背面浇筑胶体材料形成过渡层，并通过设置吸声材料的方式，有效提高PMUT压电微机械超声换能器的发射和接收效率，增大其工作带宽与耐压等级，降低背面材料的回波。

主 权 项：1.一种压电微机械超声换能器封装结构，其特征在于：包括下电极、压电层、上电极、机械层、衬底层以及过渡层，其中，所述下电极、压电层以及上电极自下而上由SOI材料依次沉积且设于机械层外缘面；所述衬底层与所述下电极以机械层相对称，且固定设于所述机械层另一外缘面；所述衬底层通过刻蚀工艺与机械层外缘面结合形成一空腔结构；向所述空腔结构浇筑胶体材料形成所述过渡层；所述过渡层远离与机械层连接处的外缘面粘接有吸声层。

关 键 词：机械层  过渡层  外缘面  微机械超声换能器  衬底层  下电极  压电 本实用新型  胶体材料  压电层  电极 浇筑  背面材料  封装结构 工作带宽  接收效率  刻蚀工艺  空腔结构  吸声材料  匹配层 吸声层  一空腔  回波  耐压  粘接  沉积  背面  发射  

IPC专利分类号：G10K9/122(20060101);G10K9/18(20060101)