文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN202120384787.1

申 请 日：20210220

发 明 人：柴晨 闵振东 王博 魏炜 林泉 马英俊 许兴 李万朋 张路 刘向前

申 请 人：有研光电新材料有限责任公司

申请人地址：065001 河北省廊坊市廊坊开发区百合道4号

公 开 日：20220111

公 开 号：CN215480535U

代 理 人：王志红

代理机构：11619 北京辰权知识产权代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种石英坩埚腐蚀桶及腐蚀结构，包括：桶体，顶部具有开口，用于盛放腐蚀液；桶盖，盖设在开口上；支撑凸起，设置在桶体的底面，用于支撑石英坩埚。通过在桶体内设置支撑凸起，一方面可以支撑悬空倒扣的石英坩埚，使得石英坩埚充分腐蚀，另一方面支撑凸起可以占用桶体的部分空间，达到节省腐蚀液、降低成本的目的。

主 权 项：1.一种石英坩埚腐蚀桶，其特征在于，包括：桶体，顶部具有开口，用于盛放腐蚀液；桶盖，盖设在所述开口上；支撑凸起，设置在所述桶体的底面，用于支撑倒扣的石英坩埚。

关 键 词：石英坩埚  支撑凸起  桶体  腐蚀液  腐蚀  开口  半导体加工技术  本实用新型  倒扣 底面 盛放  桶盖  支撑  悬空  体内  占用  

IPC专利分类号：C03B20/00(20060101)