文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN00260690.9

申 请 日：20001130

发 明 人：申家镜 彭鸿雁 杨贵龙 彭寄星 王军

申 请 人：黑龙江省光电技术研究所

申请人地址：157000 黑龙江省牡丹江市光华街106-1号

公 开 日：20011010

公 开 号：CN2453017Y

代 理 人：张雨红;熊文生

代理机构：23107 牡丹江市专利事务所

语　　种：中文

摘　　要：快速制备大面积均匀纳米功能膜的装置,它是在真空罩的罩体上分别设有激光入射窗口、抽气口、红外光扩束窗口、充气窗口、靶体动力输入口、检验窗口、碘钨灯、观察窗口、靶体电极、衬底电极、衬底动力输入口,在对应靶体动力输入口和衬底动力输入口的罩体内分别设有靶体旋转装置和衬底旋转装置。它可快速制备大面积均匀纳米功能膜。

主 权 项：快速制备大面积均匀纳米功能膜的装置，其特征是，在真空罩的罩体上分别设有激光入射窗口(1)、抽气口(2)、红外光扩束窗口(3)、充气窗口(4)、靶体动力输入口(5)、检验窗口(6)、碘钨灯(7)、观察窗口(8)、靶体电极(9)、衬底电极(10)、衬底动力输入口(11)，在对应靶体动力输入口(5)和衬底动力输入口(11)的罩体内分别设有靶体旋转装置(12)和衬底旋转装置(13)。

关 键 词：动力输入  靶体  大面积均匀  快速制备  纳米功能  衬底 红外光 衬底旋转装置  衬底电极  激光入射  旋转装置  电极  碘钨灯 真空罩  抽气 罩体  充气 检验  

IPC专利分类号：C23C14/32