会议论文详细信息
离子注入多层结构的模拟
文献类型：会议
作者单位：复旦大学微电子学研究所 中国科学院上海冶金研究所
会议文献：全国第六届IC CAD学术年会论文集
会议名称：全国第六届IC CAD学术年会
会议日期：19911001
会议地点：南京
主办单位：中国电子学会半导体与集成技术学会
出版日期：19910100
语 种：中文
关 键 词：离子注入 多层结构 数值模拟 集成电路工艺 蒙特卡罗模拟
分 类 号：TN305.3]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
