会议论文详细信息
β-ＳｉＣ薄膜材料的ＳＥＭ研究
文献类型：会议
作者单位：大学电子科学系(西安) 理工大学电子工程系 院西安光机所,西安
会议文献：电子显微学报第18卷增刊
会议名称：第一届全国扫描电子显微学会议
会议日期：19990701
会议地点：南宁
主办单位：中国物理学会
出版单位：中国电子显微镜学会
出版日期：19990700
出 版 地：北京
语 种：中文
关 键 词：β-ＳｉＣ薄膜材料 扫描电镜应用
分 类 号：O484.1]
参考文献：
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