会议论文详细信息
掺磷纳米硅薄膜显微结构和电性研究
文献类型：会议
作者单位：航空航天大学材料物理与化学研究中心,兰州大学材料系 大学材料系 院北京半导体所超晶格与微结构国家重点实验室 院北京真空物理国家实验室
会议文献：材料研究与应用新进展(上卷)
会议名称：1998年中国材料研讨会
会议日期：19981220
会议地点：北京
主办单位：中国材料研究会
出版日期：19981202
语 种：中文
关 键 词：薄膜材料 显微结构 超细粉 纳米材料 纳米硅薄膜 电学性能
分 类 号：TB3]
参考文献：
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引证文献：
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