会议论文详细信息
氮化碳超硬复合膜的结构分析
文献类型：会议
作者单位：大学物理与电子信息学院
会议文献：全国薄膜学术讨论会会议论文集
会议名称：全国薄膜学术讨论会
会议日期：19991001
会议地点：上海
主办单位：中国真空学会,中国电子学会,中国光学学会,中国物理学会,中国机械工程学会,中国仪器仪表学会,中国材料研究会
出版单位：中国真空学会
出版日期：19991000
出 版 地：上海
语 种：中文
关 键 词：氮化碳 复合膜 表面处理 薄膜
分 类 号：O484] TG17
参考文献：
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引证文献：
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