会议论文详细信息
TEM与EDS结合技术在微纳结构材料元素分析中的应用
文献类型：会议
作者单位：中国科学院固体物理所材料物理重点实验室,安徽合肥230031
会议文献：2014年全国电子显微学学术会议论文集
会议名称：2014年全国电子显微学学术会议
会议日期：20141014
会议地点：南宁
主办单位：中国物理学会,中国电子显微镜学会
出版日期：20141014
语 种：中文
摘 要：X射线能谱仪(EDS)作为透射电镜(TEM)的一个基本附件,其工作原理是利用聚焦的电子束作用于被观察试样的微小区域上,激发所含元素的特征X射线,再将这些信息捕获、处理和分析,获得试样组成元素的定性、半定量或定量分析结果.TEM具有高的空间分辨率,因而TEM中的EDS检测可以在微米和亚微米尺度下进行,通过EDS的点分析技术可进行材料显微结构的元素分析,用EDS的线扫描或面扫描分析还可以直观地获得微区元素分布数据.
分 类 号：TV2[水利类] TU9[建筑类]
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同被引文献：
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