会议论文详细信息
等离子体紫外光源技术的进展及应用
文献类型：会议
作者单位：江苏省信息显示工程技术研究中心 南京 210096 东南大学电子科学与工程学院显示技术研究中心 南京 210096
会议文献：中国真空学会2012学术交流会论文集
会议名称：中国真空学会2012学术交流会
会议日期：20120901
会议地点：兰州
主办单位：中国真空学会
出版日期：20120900
语 种：中文
摘 要：以等离子体放电为机理的紫外光源，在现代技术领域中应用更加广泛和具体，如杀菌、消毒，激光泵浦，光敏材料的固化，介质表面的改性，光清洗，微电子集成电路的刻蚀，污染物的降解，生物医学检测及诊治等[1-3]。目前多以管状光源为主。随着技术的发展和应用领域的拓展，平板紫外光源技术得到发展，体现了良好的发展前景。
分 类 号：TP2] TN4
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
