文献类型：会议

作　　者：程帅 李晶 易歆雨 朱焕峰 陈坤 陈良尧 徐敏 叶震寰

作者单位：复旦大学光科学与工程系 复旦大学光科学与工程系 上海超精密光学制造工程技术研究中心,上海200433 辽宁科技大学理学院光电系,辽宁114051

会议文献：第十七届全国凝聚态光学性质会议论文集

会议名称：第十七届全国凝聚态光学性质会议

会议日期：20140719

会议地点：内蒙古通辽

主办单位：中国物理学会

出版日期：20140719

语　　种：中文

摘　　要：1968年,Ovshinsky发现硫系化合物的非晶态和晶态性质有显著的差异,以此发掘了相变材料在信息存储领域的应用.如今,在众多的相变材料中,Ge2Sb2Te5 (GST)以其较好的热稳定性、高结晶速率、可擦写次数多而受到青睐.在GST应用于相变存储器时,经常使用Ti或TiN作为电极,在频繁的读、写、擦过程中,Ti元素必然会扩散到GST存储单元中,从而对其相变性质产生影响.同时,由于GST存在结晶温度低的缺点,使用其它元素掺杂来提升其热稳定性是一种常用手段.综上,进行Ti掺杂GST的研究很有必要.

分 类 号：O78] TN3]