文献类型：会议

作　　者：覃嘉媛 黄瀛 阮孟财 韦小凤 符跃春 何欢 陆书龙 边历峰 沈晓明

作者单位：广西大学材料科学与工程学院,有色金属及材料加工新技术教育部重点实验室 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,纳米器件及应用重点实验室

会议文献：第六届全国材料与热加工物理模拟及数值模拟学术会议论文集

会议名称：第六届全国材料与热加工物理模拟及数值模拟学术会议

会议日期：20150917

会议地点：宜昌

主办单位：中国机械工程学会材料分会;三峡大学;华中科技大学;上海大学;广西大学

出版日期：20150917

语　　种：中文

摘　　要：采用数值模拟的方法，分析了脉冲激光沉积(PLD)制备InAlN薄膜过程中激光烧蚀InAl靶材表面温度场的分布，计算了激光功率密度和重复频率对温度场的影响以及在一定条件下靶材表面温度场的分布和烧蚀深度，并通过对比分析激光烧蚀前后靶材的XRD测试结果研究其相结构的稳定性，分析结果可为利用PLD制备高In组分InAlN薄膜提供指导。

关 键 词：PLD 激光烧蚀 温度场分布 相稳定性

分 类 号：X70] X7]